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사 건 : 특허법원 2009. 6. 12. 선고 2008허9658 판결 [거절결정(특)] (상고이유서부제출 확정)
판시사항 : 박막형성장치에 관한 이 사건 제1항 보정발명이 같은 기술분야에 속하는 비교대상발명에 비
하여, 플라즈마 발생수단에 반응성 가스 외에도 불활성 가스를 더 도입하고 있다는 점에서
진보성이 부정되지 않는다고 본 사례.
판결요지 : 박막형성장치에 관한 이 사건 제1항 보정발명이 같은 기술분야에 속하는 비교대상발명에 비
하여, 플라즈마 발생수단이나 진공용기를 개량하여 박막과 화학반응하는 활성종의 밀도를 향
상시키면서 효율적이고 광범위한 프라즈마 처리가 가능한 박막형성장치를 제공한다는 목적을
가지고 있다는 점에서 목적에 특이성이 있고, 플라즈마 발생수단에 반응성 가스 외에도 불활
성 가스를 더 도입하고 있다는 점에서 구성상의 차이가 있으며, 반응프로세스존에 반응성 가
스와 불활성 가스를 혼합하여 도입하는 경우 반응성 가스만을 도입하는 경우보다 박막 형성에
더 효과적인, 전기적으로 중성인 반응성 가스 활성종의 발생강도를 높이고 그 밀도를 크게 할
수 있다는 점에서 효과면에서도 차이가 있다.
피고는 위 구성이, 비교대상발명에서 성막프로세스존에 혼합가스를 도입하는 구성을 반응프
로세스존에 단순히 확장적용한 것에 해당한다고 볼 수 있는데, 프라즈마 처리에서 반응성 가
스인 산소와 불활성 가스인 아르곤의 혼합가스를 도입하는 것이 주지관용기술에 해당하므로,
이러한 주지관용기술과 비교대상발명으로부터 구성 3을 용이하게 도출할 수 있다는 취지로 주
장한다. 그러나 프라즈마 처리에서 반응성 가스인 산소와 불활성 가스인 아르곤의 혼합가스를
도입하는 것이 주지관용기술에 해당한다고 인정할 만한 증거가 없고, 위와 같이 반응프로세스
존에 반응성 가스와 불활성 가스의 혼합가스를 사용하는 기술이나 이에 의해 반응성 가스 활
성종의 밀도를 증가하게 되는 작용원리가 널리 알려져 있는 것이 아닌 이상, 성막 프로세스에
서 혼합가스를 사용하는 것이 널리 알려진 기술이라 하더라도 이를 성막 프로세스와 반응과정
이나 반응물질이 상이한 반응 프로세스에 대하여 통상의 기술자가 용이하게 적용할 수 있다고
볼 수는 없으므로, 피고의 위 주장은 받아들일 수 없다.
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