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l 사건 개요
A은 특허발명의 등록공고일로부터 6개월 내 원고를 상대로 ‘특허발명 청구항 1 내지 21은 비교대상발명 1 내지 4(선행발명 1 내지 4)에 의하여 진보성이 부정된다’고 주장하면서 특허취소신청을 하였다. 특허심판원은 ‘청구항 1은 통상의 기술자가 비교대상발명 1로부터 쉽게 발명할 수 있고, 청구항 12는 통상의 기술자가 비교대상발명 1 또는 비교대상발명 1, 4의 결합으로부터 쉽게 발명할 수 있으며, 나머지 청구항들도 통상의 기술자가 비교대상발명들로부터 쉽게 발명할 수 있으므로, 그 진보성이 부정된다‘는 취지의 취소의견제출통지를 하였고, 이에 원고는 정정청구서를 제출하였다. 이에 대하여 특허심판원은, ‘정정청구는 인정되나, 정정이 반영된 청구항 1, 12, 13, 17은 비교대상발명 1에 의하여 그 진보성이 부정되고, 정정이 반영된 청구항 2 내지 8, 18은 비교대상발명 1 또는 비교대상발명 1과 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정되며, 정정이 반영된 청구항 9, 10, 11, 19, 20은 비교대상발명 1과 3의 결합에 의하여 그 진보성이 부정되고, 정정이 반영된 청구항 14, 15, 21은 비교대상발명 1과 4의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다’는 이유로 A의 신청을 일부 인용하는 결정을 하였다.
l 판시 요지
제1항 정정발명은 Single Particle ICP-MASS법에 의하여 측정하는 것인 반면에, 선행발명 1은 플라스마 질량 스펙트럼 분석(ICP-MASS) 방법에 의해 측정하는 것이라는 점에서 차이가 있다(‘차이점 1’). 또한 제1항 정정발명은 철, 구리 및 아연의 입자성 메탈의 농도에 따라 저감화 방법을 선택하여 철, 구리 및 아연의 입자성 메탈의 농도 중 적어도 하나를 저감시키는 것이나, 선행발명 1에는 이에 대하여 명시적으로 기재되어 있지 않다는 점에서 차이가 있다(‘차이점 2’). 위 차이점 1과 관련된 제1항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 쉽게 도출할 수 있는 것이고, 그에 따른 제1항 정정발명의 효과도 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 예측할 수 있는 정도에 불과하다. 상기 차이점 2와 관련된 제1항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 쉽게 극복할 수 있는 것이고, 그에 따른 제1항 정정발명의 효과도 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 예측할 수 있는 정도에 해당한다. 따라서 제1항 정정발명은 선행발명 1에 의하여 진보성이 부정된다.
제2항 정정발명은 제1항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 저감화 방법은 약액을 필터에 의하여 여과하는 방법을 더 포함하는 것’이나, 이는 선행발명 1에 기재된 IPA의 정류에 앞서 여과하는 구성과 실질적으로 동일하다. 제4항 정정발명은 제1항 정정발명 또는 제2항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 저감화 방법이, 상기 약액을, 폴리에틸렌 필터, 폴리프로필렌 필터, 불소 수지 필터, 폴리아마이드 수지 필터, 및 폴리설폰 수지 필터로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 이용하여 여과하는 방법’으로 한정된 것이고, 제5항 정정발명은 제4항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 저감화 방법이, 상기 약액을, 불소 수지 필터, 또는 폴리아마이드 수지 필터를 이용하여 여과하는 방법’으로 한정된 것이다. 그러나 이는 선행발명 1에 기재된 테프론(등록상표) 등의 불소 수지를 포함하는 필터를 이용하여 IPA를 여과하는 구성과 실질적으로 동일하다. 제7항 정정발명은 제1항 정정발명 또는 제2항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 전자 재료 제조용 약액이 반도체 디바이스 제조용 약액’으로 한정된 것이고, 제8항 정정발명은 제1항 정정발명 또는 제2항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 전자 재료 제조용 약액이, 용제를 함유하는 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물용 용제, 현상액, 린스액, 프리웨트액, 세정액, 에칭액, 박리액, 또는 톱 코트 용제’로 한정된 것이다. 그러나 선행발명 1의 기재에 비추어 선행발명 1의 IPA는 반도체 디바이스 제조용 약액에 해당하고, 현상액, 린스액 또는 프리웨트액에 해당한다고 보아야 한다. 더군다나 IPA가 반도체 제조공정에서 유기계 현상액으로 사용된다는 것은 이 사건 정정발명의 최우선일 이전에 통상의 기술자에게는 널리 알려진 기술적 상식에 해당한다. 따라서 제7, 8항 정정발명의 위 한정구성은 선행발명 1에 기재된 위 구성과 실질적으로 동일하다. 따라서 제2, 4, 5, 7, 8항 정정발명은 모두 선행발명 1에 의하여 그 진보성이 부정된다.
제6항 정정발명은 제4항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 저감화 방법이, 상기 약액을, 폴리에틸렌 필터, 폴리프로필렌 필터, 불소 수지 필터, 폴리아마이드 수지 필터, 및 폴리설폰 수지 필터로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 필터를 이용하여 여과하고, 여과된 상기 약액을, 상기 군으로부터 선택되지만 상기 선택된 1종 이상의 필터와는 다른 1종 이상의 필터를 이용하여 추가로 여과하는 방법’인 것이다. 그런데 통상의 기술자라면 선행발명 1의 불소 수지를 포함하는 필터의 여과에 이어, ‘2차 여과’하는 구성으로 선행발명 2의 폴리에틸렌제 필터를 사용하는 데 특별한 기술적 어려움이 있다고 보기 어렵고, 그에 따른 효과도 통상의 기술자가 선행발명 1, 2의 결합으로부터 쉽게 예측할 수 있는 정도에 해당한다. 따라서 제6항 정정발명은 선행발명 1, 2의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
제3항 정정발명은 제1항 정정발명 또는 제2항 정정발명의 종속항으로, ‘상기 저감화 방법을 이용하여, 상기 약액 중의, 상기 철 원자를 포함하는 입자성 메탈의 농도, 상기 구리 원자를 포함하는 입자성 메탈의 농도, 및 상기 아연 원자를 포함하는 입자성 메탈의 농도의 합을, 100ppt 이하로 하는 것’인데, 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 또는 선행발명 1과 2의 결합으로부터 쉽게 도출할 수 있다고 보기 어려워, 그 진보성이 부정되지 아니한다.
제9항 정정발명은 현상액이 제8항 정정발명에 기재된 전자 재료 제조용 약액의 제조 방법에 의하여 얻어진 전자 재료 제조용 약액인 반면에, 선행발명 3에는 이에 대한 구체적인 기재가 없다는 점에서 차이가 있고(‘차이점 3’), 제9항 정정발명은 수득된 패턴이 10nm 이하의 선폭을 갖는 것이나, 선행발명 3은 수득된 패턴이 50nm 이하의 선폭을 갖는다는 점에서 차이가 있다(‘차이점 4’). 그런데 차이점 3과 관련된 제9항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1, 3의 결합에 의해 쉽게 도출할 수 있고, 그에 따른 효과도 통상의 기술자가 선행발명 1, 3의 결합으로부터 쉽게 예측할 수 있는 정도에 해당하고. 차이점 4와 관련된 제9항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1, 3에 의해 쉽게 도출할 수 있고, 그에 따른 효과도 통상의 기술자가 선행발명 1, 3의 결합으로부터 쉽게 예측할 수 있는 정도에 해당한다. 따라서 제9항 정정발명은 선행발명 1, 3의 결합에 의하여 그 진보성이 부정된다.
제10항 정정발명은 통상의 기술자가 선행발명 1, 3의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있는 것이므로, 그 진보성이 부정된다. 제11항 정정발명은 통상의 기술자가 선행발명 1, 3의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있는 것이므로, 그 진보성이 부정된다.
제12항 정정발명은 Single Particle ICP-MASS에 의하여 측정하는 것인 반면에, 선행발명 1은 ICP-MASS에 의해 측정하는 것이라는 점에서 차이가 있고(‘차이점 5’), 제12항 정정발명은 철, 구리 및 아연의 입자성 메탈의 농도의 합(ΣMp)이 100ppt 이하이며, 유기계 현상액의 경우 ΣMp≤5.6ppt, ΣMi≤367.5ppt이고, 알칼리 현상액의 경우 ΣMp≤98ppt, ΣMi≤959ppt로 한정되어 있는 것이나, 선행발명 1은 철, 구리, 아연의 농도가 각각 0.09ppb, 0.07ppb 및 0.05ppb인 점에서 차이가 있다(‘차이점 6’). 제12항 정정발명의 구성요소 12-2는 약액이 아세트산 뷰틸 등의 유기계 현상액 또는 TMAH를 포함하는 알칼리 현상액으로 한정된 것인 반면에, 선행발명 1은 약액이 IPA라는 점에서 차이가 있다(‘차이점 7’). 차이점 5는 앞서 살핀 차이점 1과 동일하고, 차이점 6과 관련된 제12항 정정발명의 구성은 제3항 정정발명의 구성과 실질적으로 동일하고 통상의 기술자가 선행발명 1로부터는 쉽게 극복할 수 있다고 보기 어려우며, 차이점 7과 관련된 제12항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 쉽게 극복할 수 있다.
제12항 정정발명이 선행발명 1에 의해서는 진보성이 부정되지 않는 이상, 제12항 정정발명의 종속항인 제13항 정정발명도 마찬가지 이유로 선행발명 1에 의해서는 그 진보성이 부정되지 않는다.
제14항 정정발명은 제12항 정정발명에 기재된 전자 재료 제조용 약액으로 한정되어 있는 점에서 선행발명 4와 차이가 있고(‘차이점 8’), 제14항 정정발명은 25℃로 30일간 보관하는 반면에, 선행발명 4는 50℃에서 6개월간 보유한다는 점에서 차이가 있다(‘차이점 9’). 제14항 정정발명은 Single Particle ICP-MASS법에 의하여 측정하는 것이나, 선행발명 4는 ICP-MASS법에 의해 측정하는 것이라는 점에서 차이가 있고(‘차이점 10’), 제14항 정정발명은 철, 구리 및 아연의 입자성 메탈의 농도의 합이 100ppt 이하로 한정되어 있는 반면에, 선행발명 4에는 철, 구리, 크롬 및 니켈 금속 이온의 총량이 10ppt 이하라는 점에서 차이가 있다(‘차이점 11’). 차이점 8과 관련된 제14항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1, 4의 결합으로부터 쉽게 도출할 수 있다. 차이점 9와 관련된 제14항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 4로부터 쉽게 도출할 수 있는 정도에 해당하고, 그에 따른 효과도 통상의 기술자가 선행발명 4로부터 예측할 수 있는 정도에 해당한다. 차이점 10은 앞서 살핀 차이점 1, 5와 동일하므로, 차이점 10과 관련된 제14항 정정발명의 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 쉽게 극복할 수 있는 정도에 해당하고, 그에 따른 제14항 정정발명의 효과도 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 예측할 수 있는 정도에 해당한다. 차이점 11과 관련된 제14항 정정발명의 구성은 선행발명 4와 실질적으로 동일하거나 이로부터 쉽게 도출할 수 있다. 제15항 정정발명은 제14항 정정발명의 종속항으로, 통상의 기술자가 선행발명 1, 4의 결합에 의하여 쉽게 발명할 수 있으므로, 그 진보성이 부정된다.
제17항 정정발명은 Single Particle ICP-MASS법과 ICP-MASS법에 의하여 측정하는 것인 반면에, 선행발명 1은 ICP-MASS 방법에 의해 측정하는 것이라는 점에서 차이가 있고(‘차이점 12’), 제17항 정정발명은 철, 구리 및 아연의 입자성 메탈의 농도의 합(ΣMp)과 철, 구리 및 아연의 이온성성 메탈의 농도의 합(ΣMi)이 ΣMp≤ΣMi≤100ppt로 한정되어 있는 것이나, 선행발명 1은 철, 구리, 아연의 농도가 각각 0.09ppb, 0.07ppb 및 0.05ppb인 점에서 차이가 있다(‘차이점 13’). 또한 제17항 정정발명의 약액은 유기계 현상액, 또는 알칼리 현상액이고, 상기 유기계 현상액은 20℃에서의 증기압이 3kPa 이하인 것인 반면에, 선행발명 1은 약액이 IPA이고 20℃에서의 증기압에 관한 구체적인 기재가 없다는 점에서 차이가 있다(‘차이점 14’). 차이점 12는 통상의 기술자가 선행발명 1에 사용되는 ICP-MASS 대신에 Single Particle ICP-MASS로 치환하여 적용시키는 데 특별한 기술적 어려움이 있다고 보기 어려우므로, 통상의 기술자가 선행발명 1에 사용되는 ICP-MASS 외에 Single Particle ICP-MASS도 더 추가하여 사용하는 데에는 마찬가지로 특별한 기술적 어려움이 있다고 볼 수 없고, 그에 따른 효과도 통상의 기술자라면 선행발명 1로부터 예측할 수 있는 정도에 해당한다. 차이점 13과 관련된 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 쉽게 극복할 수 있다고 보기 어렵다. 차이점 14와 관련된 구성은 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 쉽게 극복할 수 있다.
제18항 정정발명은 전자 재료 제조용 약액의 제조 방법에 관한 독립항으로, ‘증류하는 방법을 포함하는’ 저감화 방법이 기재되어 있지 않다는 점을 제외하고는 제3항 정정발명과 동일한 구성요소를 구비하고 있다. 따라서 통상의 기술자가 선행발명 1로부터 또는 선행발명 1과 2의 결합으로부터 쉽게 발명할 수 있다고 보기 어렵다.
제19항 정정발명의 구성요소 19-1 내지 19-3은 각각 제9항 정정발명의 구성요소 9-1과, 제17항 정정발명의 구성요소 17-1 및 17-2와 동일한 구성요소를 구비하고 있다. 따라서 제19항 정정발명은 통상의 기술자가 선행발명 1과 3의 결합으로부터는 쉽게 발명할 수 있다고 보기 어려우므로, 그 진보성이 부정되지 않는다.
제20항 정정발명의 구성요소 20-1과 20-2는 각각 제10항 정정발명의 구성요소 10-1 및 제19항 정정발명의 구성요소 19-1과 동일한 구성요소를 구비하고 있다. 따라서 선행발명 1과 3의 결합에 의하여 그 진보성이 부정되지 않는다.
제21항 정정발명의 구성요소 21-1 내지 21-3은 각각 제14항 정정발명의 구성요소 14-1 내지 14-3(구성요소 14-1에서 제12항 정정발명을 인용하고 있는 부분은 제외)과, 제17항 정정발명의 구성요소 17-1, 및 17-2와 동일한 구성요소를 구비하고 있다. 따라서 제21항 정정발명은 선행발명 1과 4의 결합으로 그 진보성이 부정된다.
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