º»¹® ¹Ù·Î°¡±â ÁÖ¸Þ´º·Î ¹Ù·Î°¡±â
  • facebook ¹Ù·Î°¡±â
  • twitter ¹Ù·Î°¡±â
  • ³×À̹öºí·Î±× ¹Ù·Î°¡±â
  • ´ÙÀ½ºí·Î±× ¹Ù·Î°¡±â
  • Youtube ¹Ù·Î°¡±â

Àü±¹¹ý¿ø ÁÖ¿äÆÇ°á

Àü±¹¹ý¿ø ÁÖ¿äÆÇ°á
Àü±¹¹ý¿ø ÁÖ¿äÆÇ°á ³»¿ë
Á¦¸ñ [ƯÇã]¿ø°í Á¤Á¤½ÉÆÇû±¸´Â û±¸¹üÀ§¸¦ °¨ÃàÇÏ´Â °æ¿ì µî¿¡ ÇØ´çÇÏÁö ¾Ê°í ¿ÀÈ÷·Á ½ÇÁúÀûÀ¸·Î º¯°æÇϰųª È®ÀåÇÏ¿© ºÎÀû¹ýÇÏ´Ù°í º» »ç·Ê(ƯÇã¹ý¿ø 2021Çã2540)
ÀÛ¼ºÀÚ Æ¯Çã¹ý¿ø [´ëÀü] ÀÛ¼ºÀÏ 2022-01-17
Á¶È¸¼ö 698
÷ºÎÆÄÀÏ  [1]2021Çã2540.pdf

l  »ç°Ç °³¿ä

¿ø°í´Â À§ »ç°Ç(2020Çã5382) ½É°áÃë¼Ò¼Ò¼Û °è¼Ó Áß ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í¿¡ ´ëÇÑ Á¤Á¤½ÉÆÇÀ» ƯÇã½ÉÆÇ¿ø¿¡ û±¸ÇÏ¿´´Ù. ƯÇã½ÉÆÇ¿øÀº “Á¤Á¤»çÇ× 3Àº ƯÇã¹ý Á¦136Á¶ Á¦1Ç×, Á¦4Ç×ÀÇ ¿ä°ÇÀ» ÃæÁ·ÇÏÁö ¸øÇϰí, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× Á¤Á¤¹ß¸íÀº ƯÇã¹ý Á¦42Á¶ Á¦4Ç× Á¦2È£ÀÇ ±âÀç¿ä°ÇÀ» À§¹ÝÇϸç, ƯÇã¹ý Á¦136Á¶ Á¦5Ç×ÀÇ ¿ä°Çµµ ÃæÁ·ÇÏÁö ¸øÇϹǷÎ, ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤½ÉÆÇû±¸´Â Çã¿ëµÉ ¼ö ¾ø´Ù.”´Â ÃëÁöÀÇ Á¤Á¤ÀǰßÁ¦ÃâÅëÁö¸¦ ÇÏ¿´°í, ¿ø°íÀÇ º¸Á¤¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¿ø°íÀÇ º¸Á¤Àº û±¸ÃëÁöÀÇ ¿äÁö¸¦ º¯°æÇÏ´Â °Í¿¡ ÇØ´çÇÏ¿© ºÎÀû¹ýÇϰí, º¸Á¤ ÀüÀÇ ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤½ÉÆÇû±¸´Â Á¤Á¤ÀǰßÁ¦ÃâÅëÁö¿Í °°Àº ÃëÁö·Î ºÎÀû¹ýÇÏ´Ù´Â ÀÌÀ¯·Î ¿ø°íÀÇ À§ Á¤Á¤½ÉÆÇ û±¸¸¦ ±â°¢ÇÏ¿´´Ù.

 

l  ÆÇ½Ã¿äÁö

º¸Á¤³»¿ëÀº Á¤Á¤»çÇ× 3ÀÇ ³»¿ë Áß ‘ȸÀý °­µµºñ°¡ ¼­·Î »óÀÌÇÑ’À̶ó´Â ±âÀ縦 »èÁ¦(ÀÌÇÏ ‘º¸Á¤»çÇ× 1’À̶ó ÇÑ´Ù)Çϰí, ‘»ó±â ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼­ ½Ä°¢µÇ´Â Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐ¿¡ ºñÇÏ¿© ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ³·Ãß¾îÁöµµ·Ï Á¶ÀýÇÏ´Â’À¸·Î º¯°æ(ÀÌÇÏ ‘º¸Á¤»çÇ× 2’¶ó ÇÑ´Ù)ÇÑ °ÍÀε¥, ±× ÀüÁ¦·Î ¸ÕÀú Á¤Á¤»çÇ× 3ÀÇ ³»¿ëÀ» ÇØ¼®ÇØ º¸¸é, Á¤Á¤»çÇ× 3Àº Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐº¸´Ù ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ºü¸£µµ·Ï Á¶ÀýµÊÀ¸·Î½á Ç¥¸é ºÎºÐÀÇ È¸Àý °­µµºñ°¡ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐÀÇ È¸Àý °­µµºñº¸´Ù Ä¿Áö°Å³ª, Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐº¸´Ù ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ´À¸®µµ·Ï Á¶ÀýµÊÀ¸·Î½á Ç¥¸é ºÎºÐÀÇ È¸Àý °­µµºñ°¡ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐÀÇ È¸Àý °­µµºñº¸´Ù ÀÛ¾ÆÁø´Ù´Â °Í ¸ðµÎ¸¦ ÀǹÌÇÑ´Ù.

ÇÑÆí Á¤Á¤»çÇ× 3Àº Ç¥¸é ºÎºÐ°ú ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐÀº ¼ºÀå ¼Óµµ¸¦ °¢°¢ Á¶ÀýÇÏ¿© ȸÀý °­µµºñ°¡ ¼­·Î »óÀÌÇÏ´Ù´Â °ÍÀ̰í, ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸í¿¡¼­µµ SiC ÄÚÆÃ¸·ÀÇ ¿ì¼±¼ºÀå °áÁ¤¹æÇâÀ» º¯°æÇÏ¿© ȸÀý °­µµºñ¸¦ º¯È­½ÃŰ´Â ±¸¼ºÀ» °¡Áö´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î º¸Á¤»çÇ× 1°ú °°ÀÌ È¸Àý °­µµºñ°¡ ¼­·Î »óÀÌÇÏ´Ù´Â ÃëÁöÀÇ ±âÀ縦 »èÁ¦ÇÏ´õ¶óµµ ¼ºÀå¼Óµµ¸¦ Á¶ÀýÇÑ´Ù´Â ¼ö´ÜÀÌ Ç¥ÇöµÇ¾î ÀÖ¾î ±×·Î ÀÎÇØ ȸÀý °­µµºñ°¡ ´Þ¶óÁú °ÍÀ» ÃæºÐÈ÷ ¾Ë ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌ·Î ÀÎÇÏ¿© Á¤Á¤»çÇ×3ÀÇ ¿äÁö°¡ º¯°æµÈ´Ù°í º¼ ¼ö ¾ø´Ù.

±×·±µ¥ º¸Á¤»çÇ× 2ÀÇ °æ¿ì, Á¤Á¤»çÇ× 3Àº ‘Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐº¸´Ù ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ºü¸£°Å³ª ´À¸®µµ·Ï Á¶Àý’ÇÑ´Ù´Â ÀÇ¹Ì·Î ÇØ¼®µÇ´Â ÇÑÆí º¸Á¤»çÇ× 2´Â ‘Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐº¸´Ù ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ´À¸®µµ·Ï Á¶Àý’ÇÏ´Â °ÍÀ̹ǷÎ, Á¤Á¤»çÇ× 3¿¡ ÀÇÇØ Ãß°¡µÈ ±â¼ú»çÇ× Áß ‘Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐº¸´Ù ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ºü¸£µµ·Ï Á¶Àý’ÇÏ´Â ºÎºÐÀ» Á¦¿ÜÇÏ°í ‘Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐº¸´Ù ¼ºÀå ¼Óµµ°¡ ´À¸®µµ·Ï Á¶ÀýÇÏ´Â °Í’¸¸À» ÀǹÌÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î °¨ÃàµÇ¾ú´Ù. ÀÌ´Â ½ÇÁúÀûÀ¸·Î û±¸¹üÀ§ °¨ÃàÀ¸·Î ÀÎÇÑ Á¤Á¤½ÉÆÇû±¸ÀÇ ¿äÁöº¯°æ¿¡ ÇØ´çÇϹǷÎ, Çã¿ëµÉ ¼ö ¾ø´Ù.

‘SiC ¼ÒÀç’´Â ‘SiC ´ÜÀÏÃþ ¼ÒÀç’¿Í ‘SiC ´ÙÁßÃþ ¼ÒÀç’¸¦ ¸ðµÎ Æ÷ÇÔÇÏ´Â °³³äÀ̶ó°í º¼ ¼ö ¾ø°í, ‘SiC ´ÜÀÏÃþ ¼ÒÀç’¸¸À» ÀǹÌÇÑ´Ù°í º¸´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇÏ´Ù. Á¤Á¤»çÇ× 3Àº “ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼­ ½Ä°¢µÇ´Â Ç¥¸é ºÎºÐ°ú ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐÀº ¼ºÀå ¼Óµµ¸¦ °¢°¢ Á¶ÀýÇÏ¿© ȸÀý °­µµºñ°¡ ¼­·Î »óÀÌÇÏ´Ù”´Â °ÍÀε¥, ÀÌ´Â ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ ‘SiC ¼ÒÀç’°¡ ´ÙÁßÃþÀÌ µÉ ¼öµµ ÀÖÀ½À» ÀüÁ¦·Î ÇÑ´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ ‘SiC ¼ÒÀç’´Â ´ÜÀÏÃþ SiC ¼ÒÀç·Î¼­ ´ÙÁßÃþ SiC ¼ÒÀ縦 Æ÷ÇÔÇÏ´Â °³³äÀ¸·Î º¼ ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× Á¤Á¤¹ß¸íÀº ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ Ã»±¸¹üÀ§¸¦ °¨ÃàÇÏ´Â °æ¿ì¿¡ ÇØ´çµÈ´Ù°í º¼ ¼ö ¾ø¾î ƯÇã¹ý Á¦136Á¶ Á¦1Ç×ÀÇ Á¤Á¤Ã»±¸ ¿ä°Ç¿¡ ÇØ´çÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù.

¶ÇÇÑ ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼­¿¡¼­ ¼³¸íÇÏ´Â SiC ¼ÒÀç´Â (111)¸éÀ» ¿ì¼±¼ºÀå °áÁ¤¹æÇâÀ¸·Î ÇÏ¿© ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼­ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ Çâ»óµÇ°í ±ÕÀÏÇÑ ½Ä°¢·®À» °®´Â Ç¥¸éÀ» Á¦°øÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ±×¸®°í SiC ´ÙÁßÃþ º¹ÇÕ ¼ÒÀç´Â À§¿Í °°Àº °úÁ¦ ¹× È¿°ú ¿Ü¿¡ ȸÀý °­µµºñ¸¦ º¯È­½ÃÄÑ Á¦Ç°ÀÇ »ý»ê¼ºÀ» Çâ»ó½ÃŰ´Â °Íµµ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ±×·±µ¥ ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤¹ß¸í¿¡ ÀÇÇØ SiC ¼ÒÀçÀÇ È¸Àý °­µµºñ¸¦ º¯È­½ÃÄÑ »ý»ê¼ºÀ» Çâ»ó½ÃŰ´Â °ÍÀº °á±¹ ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸í¿¡¼­ ¸»ÇÏ´Â SiC ¼ÒÀçÀÇ ¸ñÀû ¹× È¿°ú¿Í´Â ´Ù¸¥ SiC ´ÙÁßÃþ º¹ÇÕ ¼ÒÀç¿Í °°Àº »õ·Î¿î ¸ñÀû ¹× È¿°ú¸¦ Á¦½ÃÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. µû¶ó¼­ ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤¹ß¸íÀº Á¤Á¤»çÇ× 3¿¡ µû¶ó û±¸¹üÀ§¸¦ ½ÇÁúÀûÀ¸·Î È®ÀåÇϰųª º¯°æÇÏ°Ô µÇ¹Ç·Î, ƯÇã¹ý Á¦136Á¶ Á¦4Ç×ÀÇ ¿ä°Ç¿¡ ¸ÂÁö ¾Ê´Â´Ù.

ÇÑÆí ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼­ ±âÀç¿¡ ÀÇÇϸé ÇϳªÀÇ SiC ÄÚÆÃ¸·¿¡´Â ÇϳªÀÇ È¸Àý°­µµºñ¸¸ Àû¿ëµÈ´Ù°í ÇØ¼®µÇ¹Ç·Î, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× Á¤Á¤¹ß¸íÀº Ç¥¸é ºÎºÐ°ú ±× ÀÌ¿Ü ºÎºÐÀÇ ¿ì¼±¼ºÀå °áÁ¤¹æÇâÀ» ¸ðµÎ (111)¸éÀ¸·Î À¯ÁöÇϵÇ, Ç¥¸é ºÎºÐÀÌ ±× ÀÌ¿ÜÀÇ ºÎºÐ¿¡ ºñÇÏ¿© ¼ºÀå¼Óµµ°¡ ³·¾ÆÁöµµ·Ï Á¶ÀýÇÏ´Â CVD ÁõÂøÃþÀÎ SiC ¼ÒÀç¶ó´Â Á¡À» ÀǹÌÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇØ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼­ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× Á¤Á¤¹ß¸íÀº ±× ±âÀç°¡ ºÒ¸íÈ®ÇÏ´Ù°í º¼ ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î ƯÇã¹ý Á¦136Á¶ Á¦5Ç×ÀÇ ¿ä°ÇÀ» ÃæÁ·ÇÑ´Ù.

±×·¸´Ù¸é ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤½ÉÆÇû±¸´Â ƯÇã¹ý Á¦136Á¶ Á¦1, 4Ç×ÀÇ Á¤Á¤¿ä°ÇÀ» ÃæÁ·ÇÏÁö ¸øÇÏ¿© ºÎÀû¹ýÇϰí, ÀÌ¿Í °á·ÐÀ» °°ÀÌÇÑ ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀº Á¤´çÇÏ´Ù.

 

Ű¿öµå: ƯÇã, µî·ÏÁ¤Á¤, Á¤Á¤Ã»±¸, û±¸Ç× °¨Ãà, ½ÇÁúÀû È®Àå/º¯°æ, ¸íÈ®¼º, SiC ¼ÒÀç

 

ÀÌÀü±Û,´ÙÀ½±Û
ÀÌÀü±Û [ƯÇã]È®Àδë»ó¹ß¸íÀÌ µî·Ï¹ß¸íÀÇ ±Õµî¹üÀ§¿¡ ÇØ´çµÇ¾î µî·Ï¹ß¸íÀÇ ±Ç¸®¹üÀ§¿¡ ¼ÓÇÑ´Ù°í º» »ç·Ê(ƯÇã¹ý¿ø 2020Çã6613)
´ÙÀ½±Û [ƯÇã]ÇǰíÀÇ Á¤Á¤Ã»±¸°¡ ºÎÀû¹ýÇϳª ÀǰßÁ¦ÃâÀÇ ±âȸµµ ¾øÀÌ Á¤Á¤Ã»±¸¸¦ ¹Ý¿µÇÏ¿© ¹«È¿¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇÑ ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀº À§¹ýÇϰí, Á¤Á¤ Àü ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸í¿¡ ´ëÇØ »ìÆìº¸´õ¶óµµ ±× ½Å±Ô¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù°í º» »ç·Ê(ƯÇã¹ý¿ø 2020Çã5382)
(06590) ¼­¿ïƯº°½Ã ¼­Ãʱ¸ ¼­ÃÊ´ë·Î 219(¼­Ãʵ¿)
´ëÇ¥ÀüÈ­ 02)3480-1100 | ȨÆäÀÌÁö ÀÌ¿ë ¹®ÀÇ 02)3480-1715(ÆòÀÏ9½Ã~18½Ã) | ÀÎÅͳݵî±â »ç¿ëÀÚÁö¿ø¼¾ÅÍ 1544-0770
WA ÀÎÁõ
top