|
l »ç°Ç °³¿ä
¿ø°í´Â ÀÌ »ç°Ç Á¦1, 4 ³»Áö 6Ç× ¹ß¸íÀº ¼±Çà¹ß¸í 1 ³»Áö 6¿¡ ÀÇÇÏ¿© ½Å±Ô¼º ¹× Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù°í ÁÖÀåÇÏ¸é¼ Æ¯Çã½ÉÆÇ¿ø¿¡ µî·Ï¹«È¿½ÉÆÇÀ» û±¸ÇÏ¿´´Ù. Çǰí´Â À§ ½ÉÆÇ ÁøÇà Áß ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸í¿¡ ´ëÇÑ Á¤Á¤À» û±¸ÇÏ¿´°í, ƯÇã½ÉÆÇ¿øÀº ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤À» ÀÎÁ¤Çϰí, ÀÌ »ç°Ç Á¦1, 4 ³»Áö 6Ç× Á¤Á¤¹ß¸íÀº ¼±Çà¹ß¸í 1 ³»Áö 6 °¢°¢¿¡ °³½ÃµÈ ¹ß¸í°ú ½ÇÁúÀûÀ¸·Î µ¿ÀÏÇÏÁö ¾Ê°í, Åë»óÀÇ ±â¼úÀÚ°¡ ¼±Çà¹ß¸í 1 ³»Áö 6 °¢°¢ ¶Ç´Â À̵éÀÇ °áÇÕ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ½±°Ô ¹ß¸íÇÒ ¼öµµ ¾ø´Ù°í ÆÇ´ÜÇÏ¿©, ¿ø°íÀÇ À§ ½ÉÆÇû±¸¸¦ ±â°¢ÇÏ´Â ½É°áÀ» ÇÏ¿´´Ù.
l ÆÇ½Ã¿äÁö
ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í¿¡ ´ëÇÑ Á¤Á¤»çÇ×Àº “»ó±â (111)¸éÀÇ ¿ì¼±¼ºÀå¿¡ ÀÇÇÏ¿©, (200)¸é ¹× (220)¸é ¿ì¼±¼ºÀå SiC ¼ÒÀ纸´Ù, ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼ ³·°í ±ÕÀÏÇÑ ½Ä°¢ Ư¼ºÀ» °®´Â,”À̶ó´Â ³»¿ëÀ» ºÎ°¡ÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Á¤Á¤Àº À߸ø ±âÀçµÈ °ÍÀ» Á¤Á¤Çϰųª ºÐ¸íÇÏÁö ¾Æ´ÏÇÏ°Ô ±âÀçµÈ °ÍÀ» ¸íÈ®ÇÏ°Ô ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡ ÇØ´çµÈ´Ù°í º¼ ¿©Áö´Â ¾ø´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº ÀÌ¹Ì È¸Àý °µµºñ(I)°¡ 1.0 ÀÌÇÏ·Î ÇÑÁ¤µÇ¾î ÀÖ¾î Á¤Á¤»çÇ×À» ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í¿¡ ºÎ°¡ÇÏÁö ¾Ê´õ¶óµµ ±× ÀÚü·Î (111)¸éÀÌ ¿ì¼±¼ºÀå °áÁ¤¹æÇâÀÌ µÊÀ¸·Î½á (200)¸é ¹× (220)¸é ¿ì¼±¼ºÀå SiC ¼ÒÀ纸´Ù, ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼ ¾ÈÁ¤ÀûÀ̰í, ±ÕÀÏÇÏ°Ô ½Ä°¢µÇ´Â SiC ¼ÒÀçÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ Á¤Á¤»çÇ׿¡ ÀÇÇÏ¿© û±¸¹üÀ§°¡ °¨ÃàµÈ´Ù°í º¼ ¼ö ¾ø´Ù. Çǰí´Â Á¤Á¤¿¡ ÀÇÇÏ¿© CVD ÁõÂøÃþÀÎ SiC ¼ÒÀç°¡ ’ÇöóÁ ȯ°æ‘¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤µÇ¾ú´Ù°í ÁÖÀåÇϳª, ¹°°ÇÀÇ ¹ß¸íÀÎ ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸íÀº ¹°°Ç ±× ÀÚü¸¦ ±âÁØÀ¸·Î û±¸¹üÀ§¸¦ È®Á¤ÇÏ¿©¾ß ÇϹǷΠÁ¤Á¤»çÇ×Àº ’ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼ ³·°í ±ÕÀÏÇÑ Æ¯¼ºÀ» °®´Â‘´Ù´Â °ÍÀº ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ »ç¿ëȯ°æ ³»Áö ¿ëµµ¸¦ ÇÑÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀ̶ó±âº¸´Ù´Â ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ È¿°ú¸¦ ±âÀçÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸´Â °ÍÀÌ Å¸´çÇÏ´Ù. ±×·¸´Ù¸é ÀÌ »ç°Ç Á¤Á¤Ã»±¸´Â û±¸¹üÀ§¸¦ °¨ÃàÇÏ´Â °æ¿ì, À߸ø ±âÀçµÈ »çÇ×À» Á¤Á¤ÇÏ´Â °æ¿ì, ºÐ¸íÇÏÁö ¾Æ´ÏÇÏ°Ô ±âÀçµÈ »çÇ×À» ¸íÈ®ÇÏ°Ô ÇÏ´Â °æ¿ì ¾î´À °Í¿¡µµ ÇØ´çÇÏÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î, ƯÇã¹ý Á¦133Á¶ÀÇ2 Á¦1Ç×, Á¦136Á¶ Á¦1Ç×ÀÇ ¿ä°ÇÀ» ¸¸Á·ÇÏÁö ¸øÇÏ¿© ºÎÀû¹ýÇÏ´Ù.
³ª¾Æ°¡ ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀº ºÎÀû¹ýÇÑ Á¤Á¤Ã»±¸¿¡ ´ëÇÏ¿© ÀǰßÁ¦ÃâÀÇ ±âȸ¸¦ ºÎ¿©ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ºÎÀû¹ýÇÑ Á¤Á¤Ã»±¸°¡ ¹Ý¿µµÈ û±¸Ç×À» ´ë»óÀ¸·Î ÇÏ¿© ¹«È¿¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇÏ¿´À¸¹Ç·Î ±× ÀýÂ÷¿¡ À§¹ýÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀçÆÇ ÀýÂ÷ÀÇ È¿À²¼ºÀ» °í·ÁÇÏ¿© Á¤Á¤ Àü ÀÌ »ç°Ç ƯÇã¹ß¸íÀÇ ¹«È¿ ¿©ºÎµµ Ãß°¡·Î »ìÆìº»´Ù. ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº ±× ȸÀý °µµºñ¸¦ (111)¸éÀÇ ÇÇÅ© °µµ¿¡ ´ëÇÑ ‘(200)¸é ÇÇÅ© °µµ¿Í (220)¸éÀÇ ÇÇÅ© °µµÀÇ ÇÕ°è’·Î Á¤ÀÇÇÏ¸é¼ ±× ¼öÄ¡¹üÀ§¸¦ 1.0 ÀÌÇÏ·Î ÇÑÁ¤Çϰí ÀÖ´Â ¹Ý¸é, ¼±Çà¹ß¸í 7Àº (111)¸éÀÇ È¸Àý °µµ¿¡ ´ëÇÑ ´Ù¸¥ °áÁ¤¸éÀÇ È¸Àý °µµÀÇ ÇÕ°èÀÇ ºñÀ²À» 20%(0.2) ÀÌÇÏ·Î ÇÑÁ¤ÇÏ¸é¼ (111)¸é°ú ºñ±³ ´ë»óÀÌ µÇ´Â °áÁ¤¸éÀ» ƯÁ¤ÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù´Â Á¡(ÀÌÇÏ ‘Â÷ÀÌÁ¡ 1’À̶ó ÇÑ´Ù)¿¡¼ Â÷À̰¡ ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº CVD ÁõÂøÃþÀÎ SiC ¼ÒÀç ÀÚü¿¡ °üÇÑ °ÍÀε¥, ¼±Çà¹ß¸í 7Àº ¿¡Äª °¡½º¿¡ ³ëÃâµÇ´Â ¸éÀÌ SiC¿¡ ÀÇÇØ ÇǺ¹µÇ¾î ÀÖ´Â ¿¡Äª ÀåÄ¡¿ë ³»½Ä ºÎǰ¿¡ °üÇÑ °ÍÀ̶ó´Â Á¡(ÀÌÇÏ ‘Â÷ÀÌÁ¡ 2’¶ó ÇÑ´Ù)¿¡¼ Â÷À̰¡ ÀÖ´Ù.
±×·±µ¥ Â÷ÀÌÁ¡ 1¿¡ ´ëÇÏ¿© º¸¸é ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº [(200)¸é+(220)¸é]/(111)¸éÀÇ È¸Àý °µµºñ¸¦ 1.0 ÀÌÇÏ·Î ÇÑÁ¤Çϰí Àִµ¥, À̸¦ ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ·Î º¼ ¶§ ±× ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ ÀÚü¿¡ ¼±Çà¹ß¸í 7°ú ´Ù¸¥ ±â¼úÀû ÀÇÀǰ¡ ÀÖ´Ù°í º¼ ¼ö ¾ø°í, ¿ÀÈ÷·Á ¼±Çà¹ß¸í 7°úÀÇ °ü°è¿¡¼ ȸÀý °µµºñ¿¡ ´ëÇÑ ±â¼úÀûÀΠǥÇö¸¸ ´Þ¸®ÇÒ »Ó ½ÇÁúÀûÀ¸·Î´Â µ¿ÀÏÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ Â÷ÀÌÁ¡ 2 ¿ª½Ã, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ SiC ¼ÒÀç°¡ ÇöóÁ ȯ°æ¿¡¼ ³»½Ä¼ºÀÇ È¿°ú¸¦ °¡Áö´Âµ¥, ¼±Çà¹ß¸í 7ÀÇ ÅºÈ±Ô¼Ò¸·µµ °°Àº ¼ÒÀç·Î¼ ¸¶Âù°¡ÁöÀÇ È¿°ú¸¦ °¡Áö°í ÀÖ°í ¼±Çà¹ß¸í 7ÀÇ ÅºÈ±Ô¼Ò¸· µÎ²²´Â ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ SiC ¼ÒÀç µÎ²²ÀÇ ¹üÀ§ ³»¿¡ ÀÖ¾î, µû¶ó¼ Â÷ÀÌÁ¡ 2¿¡¼ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÌ ‘CVD ÁõÂøÃþÀÎ SiC ¼ÒÀç’, ¼±Çà¹ß¸í 7ÀÌ ‘SiC°¡ ¿¡Äª ÀåÄ¡¿ë ³»½Ä ºÎǰ¿¡ ÇÇÆøµÈ ÇüÅÂ’·Î ´Þ¸® Ç¥ÇöÇϰí ÀÖÀ¸³ª, ½ÇÁúÀûÀ¸·Î µ¿ÀÏÇÏ´Ù.
±×·¸´Ù¸é, ºÎÀû¹ýÇÑ Á¤Á¤Ã»±¸¸¦ ÀÎÁ¤ÇÏ¿´°í, ÀÌ¿¡ ´ëÇÏ¿© ÀǰßÁ¦ÃâÀÇ ±âȸ¸¦ ºÎ¿©ÇÏÁöµµ ¾ÊÀº ä Á¤Á¤Ã»±¸°¡ ¹Ý¿µµÈ ¹ß¸íÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÇÏ¿© ¹«È¿ ¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇÏ¿´À¸¸ç, ÀÌ »ç°Ç Á¦1, 4 ³»Áö 6Ç× ¹ß¸íÀº ¼±Çà¹ß¸í 7¿¡ ÀÇÇØ ½Å±Ô¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÇ¾î ±× ƯÇã°¡ ¹«È¿·Î µÇ¾î¾ß ÇÔ¿¡µµ ÀÌ¿Í °á·ÐÀ» ´Þ¸®ÇÑ ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀº À§¹ýÇϹǷΠÃë¼ÒµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù.
Ű¿öµå: ƯÇã, µî·Ï¹«È¿, Á¤Á¤Ã»±¸, ÀǰßÁ¦ÃâÀÇ ±âȸ, ½Å±Ô¼º, ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ, SiC ¼ÒÀç
|