|
l »ç°Ç °³¿ä
ƯÇãû ½É»ç°üÀº ¿ø°í¿¡°Ô ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀº Åë»óÀÇ ±â¼úÀÚ°¡ ¼±Çà¹ß¸íÀ¸·ÎºÎÅÍ ¿ëÀÌÇÏ°Ô ¹ß¸íÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±× Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù´Â µîÀÇ ÃëÁöÀÇ ÀǰßÁ¦ÃâÅëÁö¸¦ ÇÏ¿´°í, ¿ø°íÀÇ Àǰ߼¿Í Âü°íÀÚ·á Á¦Ãâ¿¡µµ °ÅÀýÀÌÀ¯¸¦ ÇØ¼ÒÇÏÁö ¸øÇÏ¿´´Ù´Â ÀÌÀ¯·Î °ÅÀý°áÁ¤À» ÇÏ¿´´Ù. ÀÌÈÄ ¿ø°íÀÇ °ÅÀý°áÁ¤ÀÇ Ãë¼Ò¸¦ ±¸ÇÏ´Â ½ÉÆÇ°ú Ãâ¿ø¹ß¸íÀÇ Ã»±¸Ç× 3 ¹× 4¸¦ »èÁ¦ÇÏ´Â ½É»çÀüÄ¡ º¸Á¤¼ Á¦Ãâ¿¡µµ ƯÇãû ½É»ç°üÀº °ÅÀý°áÁ¤À» À¯ÁöÇÏ¿´´Ù. ƯÇã½ÉÆÇ¿øÀº ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù°í º¸¾Æ ¿ø°íÀÇ À§ ½ÉÆÇû±¸¸¦ ±â°¢ÇÏ´Â ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀ» ÇÏ¿´´Ù. ¿ø°í´Â ÀÌ ¹ý¿ø¿¡ ÇÇ°í¸¦ »ó´ë·Î ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀÇ Ãë¼Ò¸¦ ±¸ÇÏ´Â ÀÌ »ç°Ç ¼Ò¸¦ Á¦±âÇÑ µÚ ¼Ò¼Û°è¼Ó Áß¿¡ Ãâ¿ø¿¡ °üÇÑ ±Ç¸®¸¦ ¿ø°í½Â°èÂü°¡Àο¡°Ô ¾çµµÇÏ¿´´Ù.
l ÆÇ½Ã ¿äÁö
ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í°ú ¼±Çà¹ß¸íÀº ¸ðµÎ À¯Àüü Çʸ§À» Çü¼ºÇϱâ À§ÇÑ »ó¿Â ¹× »ó¾Ð¿¡¼ ¾×üÀÎ ¾Æ¹Ì³ë½Ç¶õ ÈÇÕ¹°¿¡ °üÇÑ °ÍÀ¸·Î, ±× ÈÇÕ¹°ÀÌ ÈÇÐ½Ä (R1R2N)nSiH4-nÀÇ ±¸Á¶¸¦ °¡Áö¸ç, ¿©±â¼ R1, R2°¡ C4H9-À̰í, nÀº 1ÀÇ Á¤¼öÀÎ Á¡¿¡¼ °øÅëµÈ´Ù.
´Ù¸¸, ¼±Çà¹ß¸í¿¡¼´Â ① R1, R2°¡ H-, CH3-, C2H5-, C3H7-, C4H9- Áß ¾î´À ÇϳªÀÌ¸ç ±× Áß Àû¾îµµ Çϳª°¡ H-°¡ ¾Æ´Ï°í, ② nÀÌ 1~4ÀÇ Á¤¼ö·Î ´Ù¼Ò ³Ð°Ô Á¤ÇØÁø ¹Ý¸é, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í¿¡¼´Â ① R1, R2°¡ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ À§ ¾Ëų±â ÁßÀÇ ÇϳªÀÎ C4H9-¿¡ Æ÷ÇԵǴ ‘sec-ºÎÆ¿±â(CH3CH2(CH3)CH-)’·Î, ② nÀÌ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ 1~4ÀÇ Á¤¼ö¿¡ Æ÷ÇԵǴ ‘1’·Î ÇÑÁ¤µÇ¾î ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ Â÷À̰¡ ÀÖ´Ù. Áï, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ ¾Æ¹Ì³ë ½Ç¶õ ÈÇÕ¹°Àº ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ÈÇÐ½Ä (R1R2N)nSiH4-n¿¡ Æ÷ÇԵǴ ´Ù¾çÇÑ ÈÇÕ¹° Áß µð¼¼ÄÁ´õ¸®ºÎÆ¿¾Æ¹Ì³ë½Ç¶õ(DSBAS) ÈÇÕ¹°¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù. µû¶ó¼, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº À¯Àüü Çʸ§À» Çü¼ºÇϱâ À§ÇÑ, »ó¿Â ¹× »ó¾Ð¿¡¼ ¾×üÀÎ ¾Æ¹Ì³ë ½Ç¶õ ÈÇÕ¹°¿¡ ÀÖ¾î¼, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ´ëÀÀ±¸¼º¿¡ °³½ÃµÈ »óÀ§°³³äÀÇ ÈÇнĿ¡ Æ÷ÇԵǴ ÇÏÀ§°³³äÀ» ±¸¼º¿ä¼Ò·Î ÇÏ´Â ¼±ÅÃ¹ß¸í¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù.
ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS´Â ¼±ÅÃ¹ß¸í¿¡ ÇØ´çÇϹǷÎ, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ÈÇÐ½Ä (R1R2N)nSiH4-n¿¡ Æ÷ÇԵǴ À¯±â½Ç¶õ ÈÇÕ¹° ¸ðµÎ¿Í ±× È¿°ú¸¦ ´ëºñÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀÌÁö¸¸, À§ »óÀ§°³³ä¿¡ ¼ÓÇÏ´Â ÇÏÀ§°³³äÀÇ ÈÇÕ¹° °³¼ö°¡ ±¤¹üÀ§ÇÏ¿© À̸¦ ¸ðµÎ ´ëºñÇÏ´Â °ÍÀº Çö½ÇÀûÀ¸·Î ¾î·Æ´Ù. ´Ù¸¸, À§ »óÀ§°³³ä¿¡ ¼ÓÇÏ´Â ÈÇÕ¹° Áß °¡Àå ¿ì¼öÇÑ È¿°ú¸¦ ³ªÅ¸³»°Å³ª DSBAS¿Í °¡Àå À¯»çÇÑ ÈÇÕ¹°¿¡ ºñÇÏ¿© DSBAS°¡ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù¸é ³ª¸ÓÁö ÈÇÕ¹°¿¡ ºñÇØ¼µµ ±× ÀÌ»óÀÇ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù°í ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¼±Çà¹ß¸í ÈÇнÄÀÇ ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ¿¹·Î ¸í½ÃµÈ µðÀÌ¼ÒºÎÆ¿¾Æ¹Ì³ë½Ç¶õ[((C4H9)2N)SiH3, DIBAS]Àº ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS¿Í´Â ź¼Ò ¼ö°¡ 4°³ÀÎ ºÐÁö¼âÇüÀÇ ¾Ëų±â°¡ N-SiH3¿¡ ¿¬°áµÈ ±¸Á¶ÀÎ Á¡¿¡¼ µ¿ÀÏÇϰí, ´ÜÁö ¾Ëų±â¿¡¼ ºÐÁöµÈ À§Ä¡¸¸ Â÷À̸¦ º¸ÀÌ´Â ±¸Á¶À̼ºÁúüÀÇ °ü°èÀ̹ǷΠ°¡Àå À¯»çÇÑ ÈÇÕ¹°·Î º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS°¡ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ DIBAS¿¡ ºñÇÏ¿© ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù¸é ³ª¸ÓÁö ÈÇÕ¹°¿¡ ºñÇØ¼µµ ±× ÀÌ»óÀÇ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.
|
DSBAS
(¾ËÆÄ(α) À§Ä¡ ºÐÁö) |
DIBAS
(º£Å¸(β) À§Ä¡ ºÐÁö) |
|
|
|
±×·±µ¥ ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼ ±âÀç¿¡´Â DSBASÀÇ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú¸¦ º¸¿©ÁÙ ¸¸ÇÑ ¾Æ¹«·± ±âÀç°¡ ¾ø°í, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼ ±âÀç¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¼±Çà¹ß¸íÀÇ DIBAS µî ¿ª½Ã Àú¿Â(400¡É ÀÌÇÏ)¿¡¼ ¼º¸·ÀÌ °¡´ÉÇϰí, ºÒ¼ø¹°(¼ö¼Ò ÇÔÀ¯·®)ÀÌ Àú°¨µÇ°í, °æµµ¿Í ÀÀ·ÂÀÌ ÃÖÀûȵǰí, ½ºÅÜ Ä¿¹ö¸®Áö°¡ °³¼±µÇ´Â µîÀÇ À¯Àüü Çʸ§À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í°ú ±× È¿°ú¿¡ ÀÖ¾î º°´Ù¸¥ Â÷À̰¡ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿ø°í½Â°èÂü°¡ÀÎÀÌ ÁÖÀåÇÏ´Â 500 ³»Áö 700¡É Á¤µµÀÇ ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼µµ Áú¼Ò¿ø°úÀÇ ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ µîÀÇ È¿°ú´Â ¸ðµÎ ¼±Çà¹ß¸íÀÇ DIBAS¿¡¼µµ µ¿ÀÏÇÏ°Ô ³ªÅ¸³ª´Â °ÍÀÌ¾î¼ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS°¡ °®´Â µ¶ÀÚÀû È¿°ú¶ó°í ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. ¿ø°í½Â°èÂü°¡ÀÎÀº DSBAS°¡ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î °³½ÃµÇ¾î ÀÖÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ±¸¼ºÀÇ °ï¶õ¼ºµµ °í·ÁÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù°í ÁÖÀåÇÏ¿´´Âµ¥, ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ À¯±â½Ç¶õ ÈÇÕ¹°ÀÇ ÈÇнĿ¡¼ C4H9-(ºÎÆ¿±â)¿¡´Â 4°¡Áö¸¸ÀÌ Á¸ÀçÇÔÀÌ ±â¼ú»ó½ÄÀ̰í, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ DIBAS´Â DSBAS¿Í ±¸Á¶À̼ºÁúü¿¡ ÇØ´çÇϹǷÎ, Åë»óÀÇ ±â¼úÀÚ´Â ¼±Çà¹ß¸íÀ¸·ÎºÎÅÍ ½±°Ô ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ ±¸¼ºÀ» µµÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.
±×·¸´Ù¸é ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº ¼±Åù߸íÀ¸·Î¼ ¼±Çà¹ß¸í°ú ´ëºñÇÏ¿© È¿°ú ¸é¿¡¼µµ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù°í º¸±â ¾î·Æ°í ±¸¼ºÀÇ °ï¶õ¼ºµµ ÀÎÁ¤µÈ´Ù°í º¸±â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î ¼±Çà¹ß¸í¿¡ ÀÇÇÏ¿© Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀº ƯÇã°¡ °ÅÀýµÇ¾î¾ß Çϰí, ÀÌ¿Í °á·ÐÀ» °°ÀÌÇÑ ÀÌ »ç°Ç ½É°á¿¡´Â À§¹ýÀÌ ¾ø´Ù.
|