º»¹® ¹Ù·Î°¡±â ÁÖ¸Þ´º·Î ¹Ù·Î°¡±â
  • facebook ¹Ù·Î°¡±â
  • twitter ¹Ù·Î°¡±â
  • ³×À̹öºí·Î±× ¹Ù·Î°¡±â
  • ´ÙÀ½ºí·Î±× ¹Ù·Î°¡±â
  • Youtube ¹Ù·Î°¡±â

Àü±¹¹ý¿ø ÁÖ¿äÆÇ°á

Àü±¹¹ý¿ø ÁÖ¿äÆÇ°á
Àü±¹¹ý¿ø ÁÖ¿äÆÇ°á ³»¿ë
Á¦¸ñ [ƯÇã]Ãâ¿ø¹ß¸íÀÌ ¼±Çà¹ß¸íÀÇ »óÀ§°³³ä¿¡ °³½ÃµÈ È­ÇÕ¹° Áß °¡Àå À¯»çÇÑ È­ÇÕ¹°¿¡ ºñÇÏ¿© ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑÈ¿°ú¸¦ °®Áö ¸øÇÏ´Â µî ±× Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÇ¾î Ãâ¿øÀÌ °ÅÀýµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù°í º» »ç·Ê(ƯÇã¹ý¿ø 2019Çã8323)
ÀÛ¼ºÀÚ Æ¯Çã¹ý¿ø [´ëÀü] ÀÛ¼ºÀÏ 2020-11-27
Á¶È¸¼ö 1159
÷ºÎÆÄÀÏ  [1]2019Çã8323.pdf

l  »ç°Ç °³¿ä

ƯÇãû ½É»ç°üÀº ¿ø°í¿¡°Ô ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀº Åë»óÀÇ ±â¼úÀÚ°¡ ¼±Çà¹ß¸íÀ¸·ÎºÎÅÍ ¿ëÀÌÇÏ°Ô ¹ß¸íÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±× Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù´Â µîÀÇ ÃëÁöÀÇ ÀǰßÁ¦ÃâÅëÁö¸¦ ÇÏ¿´°í, ¿ø°íÀÇ Àǰ߼­¿Í Âü°íÀÚ·á Á¦Ãâ¿¡µµ °ÅÀýÀÌÀ¯¸¦ ÇØ¼ÒÇÏÁö ¸øÇÏ¿´´Ù´Â ÀÌÀ¯·Î °ÅÀý°áÁ¤À» ÇÏ¿´´Ù. ÀÌÈÄ ¿ø°íÀÇ °ÅÀý°áÁ¤ÀÇ Ãë¼Ò¸¦ ±¸ÇÏ´Â ½ÉÆÇ°ú Ãâ¿ø¹ß¸íÀÇ Ã»±¸Ç× 3 ¹× 4¸¦ »èÁ¦ÇÏ´Â ½É»çÀüÄ¡ º¸Á¤¼­ Á¦Ãâ¿¡µµ ƯÇãû ½É»ç°üÀº °ÅÀý°áÁ¤À» À¯ÁöÇÏ¿´´Ù. ƯÇã½ÉÆÇ¿øÀº ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù°í º¸¾Æ ¿ø°íÀÇ À§ ½ÉÆÇû±¸¸¦ ±â°¢ÇÏ´Â ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀ» ÇÏ¿´´Ù. ¿ø°í´Â ÀÌ ¹ý¿ø¿¡ ÇÇ°í¸¦ »ó´ë·Î ÀÌ »ç°Ç ½É°áÀÇ Ãë¼Ò¸¦ ±¸ÇÏ´Â ÀÌ »ç°Ç ¼Ò¸¦ Á¦±âÇÑ µÚ ¼Ò¼Û°è¼Ó Áß¿¡ Ãâ¿ø¿¡ °üÇÑ ±Ç¸®¸¦ ¿ø°í½Â°èÂü°¡Àο¡°Ô ¾çµµÇÏ¿´´Ù.

 

l  ÆÇ½Ã ¿äÁö

ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í°ú ¼±Çà¹ß¸íÀº ¸ðµÎ À¯Àüü Çʸ§À» Çü¼ºÇϱâ À§ÇÑ »ó¿Â ¹× »ó¾Ð¿¡¼­ ¾×üÀÎ ¾Æ¹Ì³ë½Ç¶õ È­ÇÕ¹°¿¡ °üÇÑ °ÍÀ¸·Î, ±× È­ÇÕ¹°ÀÌ È­ÇÐ½Ä (R1R2N)nSiH4-nÀÇ ±¸Á¶¸¦ °¡Áö¸ç, ¿©±â¼­ R1, R2°¡ C4H9-À̰í, nÀº 1ÀÇ Á¤¼öÀÎ Á¡¿¡¼­ °øÅëµÈ´Ù.

´Ù¸¸, ¼±Çà¹ß¸í¿¡¼­´Â ① R1, R2°¡ H-, CH3-, C2H5-, C3H7-, C4H9- Áß ¾î´À ÇϳªÀÌ¸ç ±× Áß Àû¾îµµ Çϳª°¡ H-°¡ ¾Æ´Ï°í, ② nÀÌ 1~4ÀÇ Á¤¼ö·Î ´Ù¼Ò ³Ð°Ô Á¤ÇØÁø ¹Ý¸é, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í¿¡¼­´Â ① R1, R2°¡ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ À§ ¾Ëų±â ÁßÀÇ ÇϳªÀÎ C4H9-¿¡ Æ÷ÇԵǴ ‘sec-ºÎÆ¿±â(CH3CH2(CH3)CH-)’·Î, ② nÀÌ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ 1~4ÀÇ Á¤¼ö¿¡ Æ÷ÇԵǴ ‘1’·Î ÇÑÁ¤µÇ¾î ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Â÷À̰¡ ÀÖ´Ù. Áï, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ ¾Æ¹Ì³ë ½Ç¶õ È­ÇÕ¹°Àº ¼±Çà¹ß¸íÀÇ È­ÇÐ½Ä (R1R2N)nSiH4-n¿¡ Æ÷ÇԵǴ ´Ù¾çÇÑ È­ÇÕ¹° Áß µð¼¼ÄÁ´õ¸®ºÎÆ¿¾Æ¹Ì³ë½Ç¶õ(DSBAS) È­ÇÕ¹°¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù. µû¶ó¼­, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº À¯Àüü Çʸ§À» Çü¼ºÇϱâ À§ÇÑ, »ó¿Â ¹× »ó¾Ð¿¡¼­ ¾×üÀÎ ¾Æ¹Ì³ë ½Ç¶õ È­ÇÕ¹°¿¡ À־, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ´ëÀÀ±¸¼º¿¡ °³½ÃµÈ »óÀ§°³³äÀÇ È­ÇнĿ¡ Æ÷ÇԵǴ ÇÏÀ§°³³äÀ» ±¸¼º¿ä¼Ò·Î ÇÏ´Â ¼±ÅÃ¹ß¸í¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù.

ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS´Â ¼±ÅÃ¹ß¸í¿¡ ÇØ´çÇϹǷÎ, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ È­ÇÐ½Ä (R1R2N)nSiH4-n¿¡ Æ÷ÇԵǴ À¯±â½Ç¶õ È­ÇÕ¹° ¸ðµÎ¿Í ±× È¿°ú¸¦ ´ëºñÇÏ¿©¾ß ÇÒ °ÍÀÌÁö¸¸, À§ »óÀ§°³³ä¿¡ ¼ÓÇÏ´Â ÇÏÀ§°³³äÀÇ È­ÇÕ¹° °³¼ö°¡ ±¤¹üÀ§ÇÏ¿© À̸¦ ¸ðµÎ ´ëºñÇÏ´Â °ÍÀº Çö½ÇÀûÀ¸·Î ¾î·Æ´Ù. ´Ù¸¸, À§ »óÀ§°³³ä¿¡ ¼ÓÇÏ´Â È­ÇÕ¹° Áß °¡Àå ¿ì¼öÇÑ È¿°ú¸¦ ³ªÅ¸³»°Å³ª DSBAS¿Í °¡Àå À¯»çÇÑ È­ÇÕ¹°¿¡ ºñÇÏ¿© DSBAS°¡ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù¸é ³ª¸ÓÁö È­ÇÕ¹°¿¡ ºñÇØ¼­µµ ±× ÀÌ»óÀÇ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù°í ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¼±Çà¹ß¸í È­ÇнÄÀÇ ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ¿¹·Î ¸í½ÃµÈ µðÀÌ¼ÒºÎÆ¿¾Æ¹Ì³ë½Ç¶õ[((C4H9)2N)SiH3, DIBAS]Àº ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS¿Í´Â ź¼Ò ¼ö°¡ 4°³ÀÎ ºÐÁö¼âÇüÀÇ ¾Ëų±â°¡ N-SiH3¿¡ ¿¬°áµÈ ±¸Á¶ÀÎ Á¡¿¡¼­ µ¿ÀÏÇϰí, ´ÜÁö ¾Ëų±â¿¡¼­ ºÐÁöµÈ À§Ä¡¸¸ Â÷À̸¦ º¸ÀÌ´Â ±¸Á¶À̼ºÁúüÀÇ °ü°èÀ̹ǷΠ°¡Àå À¯»çÇÑ È­ÇÕ¹°·Î º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼­, ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS°¡ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ DIBAS¿¡ ºñÇÏ¿© ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù¸é ³ª¸ÓÁö È­ÇÕ¹°¿¡ ºñÇØ¼­µµ ±× ÀÌ»óÀÇ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.

DSBAS

(¾ËÆÄ(α) À§Ä¡ ºÐÁö)

DIBAS

(º£Å¸(β) À§Ä¡ ºÐÁö)

1 


2 

 

±×·±µ¥ ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼­ ±âÀç¿¡´Â DSBASÀÇ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú¸¦ º¸¿©ÁÙ ¸¸ÇÑ ¾Æ¹«·± ±âÀç°¡ ¾ø°í, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼­ ±âÀç¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¼±Çà¹ß¸íÀÇ DIBAS µî ¿ª½Ã Àú¿Â(400¡É ÀÌÇÏ)¿¡¼­ ¼º¸·ÀÌ °¡´ÉÇϰí, ºÒ¼ø¹°(¼ö¼Ò ÇÔÀ¯·®)ÀÌ Àú°¨µÇ°í, °æµµ¿Í ÀÀ·ÂÀÌ ÃÖÀûÈ­µÇ°í, ½ºÅÜ Ä¿¹ö¸®Áö°¡ °³¼±µÇ´Â µîÀÇ À¯Àüü Çʸ§À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼­ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸í°ú ±× È¿°ú¿¡ ÀÖ¾î º°´Ù¸¥ Â÷À̰¡ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¿ø°í½Â°èÂü°¡ÀÎÀÌ ÁÖÀåÇÏ´Â 500 ³»Áö 700¡É Á¤µµÀÇ ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼­µµ Áú¼Ò¿ø°úÀÇ ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ µîÀÇ È¿°ú´Â ¸ðµÎ ¼±Çà¹ß¸íÀÇ DIBAS¿¡¼­µµ µ¿ÀÏÇÏ°Ô ³ªÅ¸³ª´Â °ÍÀ̾ ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ DSBAS°¡ °®´Â µ¶ÀÚÀû È¿°ú¶ó°í ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. ¿ø°í½Â°èÂü°¡ÀÎÀº DSBAS°¡ ¼±Çà¹ß¸í¿¡ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î °³½ÃµÇ¾î ÀÖÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ±¸¼ºÀÇ °ï¶õ¼ºµµ °í·ÁÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù°í ÁÖÀåÇÏ¿´´Âµ¥, ¼±Çà¹ß¸í¿¡ °³½ÃµÈ À¯±â½Ç¶õ È­ÇÕ¹°ÀÇ È­ÇнĿ¡¼­ C4H9-(ºÎÆ¿±â)¿¡´Â 4°¡Áö¸¸ÀÌ Á¸ÀçÇÔÀÌ ±â¼ú»ó½ÄÀ̰í, ¼±Çà¹ß¸íÀÇ DIBAS´Â DSBAS¿Í ±¸Á¶À̼ºÁúü¿¡ ÇØ´çÇϹǷÎ, Åë»óÀÇ ±â¼úÀÚ´Â ¼±Çà¹ß¸íÀ¸·ÎºÎÅÍ ½±°Ô ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀÇ ±¸¼ºÀ» µµÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.

±×·¸´Ù¸é ÀÌ »ç°Ç Á¦1Ç× ¹ß¸íÀº ¼±Åù߸íÀ¸·Î¼­ ¼±Çà¹ß¸í°ú ´ëºñÇÏ¿© È¿°ú ¸é¿¡¼­µµ ÀÌÁúÀûÀ̰ųª ÇöÀúÇÑ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù°í º¸±â ¾î·Æ°í ±¸¼ºÀÇ °ï¶õ¼ºµµ ÀÎÁ¤µÈ´Ù°í º¸±â ¾î·Á¿ì¹Ç·Î ¼±Çà¹ß¸í¿¡ ÀÇÇÏ¿© Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÈ´Ù. µû¶ó¼­ ÀÌ »ç°Ç Ãâ¿ø¹ß¸íÀº ƯÇã°¡ °ÅÀýµÇ¾î¾ß Çϰí, ÀÌ¿Í °á·ÐÀ» °°ÀÌÇÑ ÀÌ »ç°Ç ½É°á¿¡´Â À§¹ýÀÌ ¾ø´Ù.

 

ÀÌÀü±Û,´ÙÀ½±Û
ÀÌÀü±Û [»óÇ¥]µî·Ï»óÇ¥¿¡ ±¸ »óÇ¥¹ý Á¦73Á¶ Á¦1Ç× Á¦8È£ÀÇ Ãë¼Ò»çÀ¯°¡ ÀÖ´Ù°í º» »ç·Ê(ƯÇã¹ý¿ø 2019Çã275)
´ÙÀ½±Û [ƯÇã]ƯÇã¹ß¸í°ú ±× »óÀ§°³³äÀÎ ¼±Çà¹ß¸íÀÇ ½Ç½Ã¿¹·Î °³½ÃµÈ È­ÇÕ¹°ÀÇ Â÷ÀÌ´Â Åë»óÀÇ ±â¼úÀÚ°¡ ½±°Ô ±Øº¹ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ƯÇã¹ß¸íÀÇ ¸í¼¼¼­ ±âÀçÈ¿°ú°¡ ¼±Çà¹ß¸í ´ëºñ ½ÇÁúÀûÀ¸·Î µ¿ÀÏÇÑ ÀÌ»ó Ãß°¡Á¦ÃâÀڷḦ °í·ÁÇÏ¿© Áøº¸¼ºÀ» ÀÎÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀº ºÎ´çÇϹǷΠƯÇã¹ß¸íÀÇ Áøº¸¼ºÀÌ ºÎÁ¤µÇ¾î ¹«È¿·Î µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù°í º» »ç·Ê(ƯÇã¹ý¿ø 2019Çã7863)
(06590) ¼­¿ïƯº°½Ã ¼­Ãʱ¸ ¼­ÃÊ´ë·Î 219(¼­Ãʵ¿)
´ëÇ¥ÀüÈ­ 02)3480-1100 | ȨÆäÀÌÁö ÀÌ¿ë ¹®ÀÇ 02)3480-1715(ÆòÀÏ9½Ã~18½Ã) | ÀÎÅͳݵî±â »ç¿ëÀÚÁö¿ø¼¾ÅÍ 1544-0770
WA ÀÎÁõ
top