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l 사건 개요 및 판시 요지
아래의 사정 등을 위 법리에 비추어 보면, 선행발명들은 특허발명의 출원일 이전에 공연히 실시되었다고 봄이 타당하다.
(1) MKS의 ASTRON ex 제품에 대한 카탈로그 제작 시점(2002)은 특허발명의 출원일(2010. 11. 22.) 보다 8년가량 앞서고, MKS의 ASTRON ex 제품에 대한 제품설명서의 최초 제작 시점(2001. 10. 15.)은 특허발명의 출원일(2010. 11. 22.) 보다 9년가량 앞선다. 카탈로그는 고객들에게 제공하는 공개된 자료임이 명백하고, 제품설명서에 “예방적 유지보수를 위해 MKS에 연락하라.”는 내용이 포함되어 있는 점 등에 비추어 보면, 위 제품설명서 역시 MKS 내부에서 사용되는 문서가 아니라 제품과 함께 고객들에게 제공되는 것으로 보인다. 따라서 MKS의 ASTRON ex 제품은 특허발명의 출원일 이전에 이미 생산 및 판매된 것으로 봄이 상당하다.
(2) MKS가 2006. 4. 무렵부터 2008. 9. 무렵까지 작성한 수리보고서에 따르면, MKS가 국내 기업인 주성엔지니어링과 LG디스플레이에 ASTRON ex를 판매하고 ASTRON ex의 내부 소모품인 소스 블록(FB10611)과 스월 노즐 어셈블리(SA86204)를 이 사건 특허발명의 출원일 이전에 교체수리 하였음을 알 수 있다. 여기서 스월 노즐 어셈블리의 부품번호(SA86204)는 스월 노즐(FB09881)과 그에 결합되는 커버(FB09922) 및 나사(FB09948)까지 함께 지칭할 때 사용되는 것으로 보인다. 따라서 MKS가 이 사건 특허발명의 출원일 이전에 생산 및 판매한 ASTRON ex에는 내부 소모품인 소스 블록(FB10611)과 스월 노즐(FB09881)이 포함되어 있다고 할 것이다.
(3) 특허발명의 출원일(2010. 11. 22.) 이후에는 ASTRON ex의 내부 소모품인 스월 노즐(FB09881)에 대하여 테플론 코팅의 기재를 삭제하는 내용의 수정사항(REVISION M)만 있었으므로, ASTRON ex에 내장되는 스월 노즐(FB09881)에 대한 기술자료에 개시된 설계도면이 2015. 10. 27.자 수정사항(REVISION M)까지 반영한 것이었다고 하더라도 적어도 특허발명과 관련된 구성 부분에 관하여는 특허발명의 출원일 이전의 설계도면과 차이가 없을 것이다. 그런데 2002. 4. 15.자 수정사항(REVISION J)과 2004. 11. 30.자 수정사항(REVISION K)이 적용된 ‘FB09881’ 규격의 스월 노즐 실물과 위 설계도면에 도시된 스월 노즐의 형태는 모두 토출공이 형성된 출구면이 경사져 있는 원기둥의 형태이고, 경사진 출구면에는 작은 토출공 11개가 오각형의 모양으로 형성되어 있으며, 위 오각형 모양의 토출공 주위에는 둘레를 따라 원형으로 배열되며 각각은 원형의 반지름 방향에 대하여 기울어지도록 형성된 타원형의 다른 토출공이 14개 형성되어 있다. 또한 스월 노즐의 몸체에 결합되는 커버(FB09922)의 형상마저도 한쪽은 직선이고 다른 한쪽은 오목한 곡선 모양으로 동일하다. 따라서 MKS가 이 사건 특허발명의 출원일 이전에 생산 및 판매한 ASTRON ex에 내부 소모품으로 삽입되던 스월 노즐(FB09881)은 위 각 스월 노즐의 실물 및 위 설계도면에 도시된 것과 동일하다고 봄이 상당하다.
(4) 한편 롱 플라즈마 블록(FB10611) 사진에 의하면 촬영된 소스 블록에 ‘FB10611 REV B 900209'라는 표시가 있음을 알 수 있는데, 기록상 버전 B(REV B)가 언제 설계된 것인지 알 수 있는 자료가 제출되어 있지 않아 위 사진만으로는 위 소스 블록이 특허발명의 출원일 이전에 생산 및 판매된 것이라고 단정할 수 없기는 하다. 그러나 앞서 본 바와 같이 MKS가 특허발명의 출원일 이전에 생산 및 판매한 ASTRON ex에 내부 소모품인 소스 블록(FB10611)이 포함되었음은 분명하고, ASTRON ex 조립 매뉴얼에 따르면 버전 C인 소스 블록 ’FB10611 REV C 900209'의 촬영일이 2006. 5. 24.로 표시되어 있으므로, 이러한 사정을 감안하여 보면, 버전 B의 위 소스 블록은 적어도 특허발명의 출원일(2010. 11. 22.)보다 4년 이상 앞선 2006. 5. 24. 이전에 생산 및 판매되었을 것이라고 추정된다. 또한 거래통념상 특정한 장치의 부품으로 사용되며 규격번호까지 부여된 부품을 그 구체적인 형태를 자유롭게 변경하여 생산 및 판매할 수 있다고 보기는 어려우므로, ASTRON ex라는 장치의 전용부품으로 사용되는 규격이 ‘FB10611'인 소스 블록도 그 구체적인 형태를 달리하여 생산 및 판매되지는 않았을 것으로 보인다. 나아가 규격이 ’FB10611'인 소스 블록에는 규격이 ‘FB09881'인 스월 노즐이 결합되는데, 앞서 본 것처럼 규격이 ‘FB09881'인 스월 노즐에는 경사진 출구면이 형성되어 있으며, 여기서 경사진 출구면을 형성한 이유는 소스 블록처럼 세정가스의 주입 및 이동 경로가 2개로 나뉘어졌기 때문으로 보이고, 그 밖의 다른 기술상 또는 산업상의 이유는 찾아보기 어렵다. 더 나아가 MKS의 수리보고서에는 일관되게 하나의 ASTRON ex 제품에 대해 교체수리한 'FB10611' 규격의 소스 블록 개수가 2개로 기재되어 있어 소스 블록처럼 2개의 소스 블록이 결합하여 1세트의 소스 블록을 형성함을 알 수 있다. 이처럼 ① 버전(C)의 소스 블록에 대한 생산 및 판매 시점조차 이 사건 특허발명의 출원일 보다 앞서 보인다는 점, ② 소스 블록 내에서 세정 가스의 주입 및 이동 경로가 2개로 나뉘어져 경사진 출구면이 형성된 스월 노즐과의 결합이 의도된 형태라는 점, ③ 그리고 2개의 소스 블록이 결합하여 1세트의 소스 블록을 형성하는 점 등을 종합적으로 고려하였을 때, MKS가 이 사건 특허발명의 출원일 이전에 생산 및 판매한 ASTRON ex에 내부 소모품으로 삽입되던 소스 블록(FB10611)은 갑 제12호증의 소스 블록과 실질적으로 동일하였을 것으로 봄이 상당하다.
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