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l 사건 개요 및 판시
요지
구성요소 2와 선행발명 1의 대응구성은 ‘질소 함유 관능기를 포함하는 화합물’을 1종 이상 포함한다는 점에서는 실질적으로 동일하나, 위 ‘질소 함유 관능기를 포함하는 화합물’이 구성요소 1에서는 ‘에칭
억제제’로, 선행발명 1에서는 ‘화학시약’으로 각 명시되어 있는 점에서 차이가 있다(차이점1). 위 에칭억제제는 ⓐ 알킬암모늄
이온을 형성하는 3개 이상의 탄소원자를 갖는 화합물, ⓑ 3개
이상의 탄소원자를 갖는 아미노알킬, ⓒ 황 함유 아미노산이 아닌 아미노산로 이루어져 있다. 선행발명1의 ‘화약시약’은 에틸렌디아민, 황을 함유하는 아미노산(특히 시스테인)이다. 그러나
차이점 1은 표현상의 차이에 불과할 뿐이고, 구성요소 2의 에칭 억제제와 선행발명 1의 화학시약은 결국 동일한 기능과 작용을
하는 것이다. 에칭 억제제와 화학시약은 모두, 텅스텐의 CMP 슬러리에 사용되는 성분으로서 과도한 에칭으로 인한 배선이나 플러그의 함몰 등의 부작용을 최소화하는 것이다. 또한, 특허발명의 명세서에 개시된 에칭 억제제에 해당하는 화합물
중 질소 함유 헤테로사이클 관능기를 갖는 화합물을 들면서 특히 벤즈이미다졸이 포함할 수 있다고 개시하고 있어 선행발명 1의 화학시약에 속하는 화합물과 동일한 화합물이 포함되어 있다.
구성요소 2의 ⓒ
화합물과 선행발명 1의 시스테인은 아미노산인 점에서는 동일하나, 구성요소 2의 ⓒ 화합물인
아미노산은 ‘황을 함유하지 않는’ 아미노산이고 선행발명 1의 시스테인은 ‘황을 함유하는’ 아미노산인
점에서 차이가 있다(차이점2). 그러나 아미노산이 금속 부식
억제제로 사용될 수 있음은 특허발명의 우선권주장일 이전의 기술상식에 해당하고, 통상의 기술자가 선행발명 1에 개시된 화학시약(에칭 억제제)
중 하나로 ‘아미노산’을 특정하여 인식하는 데에
특별한 기술적 어려움이 없는 이상, 별다른 기술적 차이를 가져오지 아니하는 한정사항 즉 ‘황 함유 아미노산’을 배제하는 소극적 한정사항을 도출하는 데에 별다른
어려움이 없다고 봄이 타당하다.
선행발명 1의 에틸렌디아민은 구성요소 2의 ⓐ․ⓑ 화합물과 대비할 때, 알킬암모늄 이온을 형성한다거나 아미노알킬의
화합물인 점에서는 동일하나, ⓐ․ⓑ 화합물은 3개 이상의 탄소원자를 갖는 화합물임에 비하여 선행발명 1의 에틸렌디아민은 2개의 탄소원자를 갖는 화합물인 점에서 차이가 있다(차이점3). 특허발명의 설명에는 위와 같이 에칭 억제제를 ‘3개 이상의 탄소원자’를 가지는 것으로 한정하는 기술구성이 개시되어 있지 않다. 오히려
특허발명의 명세서에는, 앞서 본 것처럼 탄소원자의 수가 5개인
글루탐산과 탄소원자의 수가 2개인 글리신을 같은 비율로 배합하여 실험할 결과 각각의 에칭속도가 16A/분 및 14A/분으로서, 탄소원자의
수가 2개인 글리신이 에칭을 감소시키는 효과가 우수한 것으로 개시되어 있다. 그렇다면, 위 한정사항은 특별한 기술적 의의를 찾아
볼 수 없는 단순한 한정사항에 불과하다 할 것이므로, 통상의 기술자가 선행발명 1에 화학시약 중 하나로 개시된 2개의 탄소원자를 갖는 에틸렌디아민으로부터 3개 이상의 탄소원자를 갖는 구성요소 2의 ⓐ․ⓑ 화합물을
도출하는 데에 별다른 어려움이 없다고 봄이 타당하다.
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